全面解析，ALD设备的种类与特点概览

摘要：本文简要介绍了ALD设备的种类及其特点。ALD设备包括多种类型，如原子层沉积系统、气相沉积设备和薄膜沉积系统等。这些设备具有高精度、高效率和高度可定制性等特点，能够在纳米级别上制备高质量薄膜，广泛应用于材料科学...

阅读全文 余非年 658 次浏览 2024-12-31 课程项目